特許
J-GLOBAL ID：200903072579136258
ウェハとトレーのセッティングシステムとそのためのトレーへのウェハセッティング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯田 堅太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-312382
公開番号（公開出願番号）：特開平10-154740
出願日： 1996年11月22日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 ウェハを熱処理用のトレーに載置させ、セッティングされるウェハを搬送することによって、大幅な合理化を図ることができるウェハとトレーのセッティングシステムとそのためのトレーへのウェハセッティング装置を提供すること。【解決手段】 ウェハWとトレー10をそれぞれロボット2で搬送し、トレー10にウェハWをセットステージ5においてセッティングした後、ウェハセッティングトレーをトレーステージ6に搬送する。セットステージ5では、トレー支持台と、トレー支持台のピン穴に挿通可能なピンを有する昇降台と、昇降台を回転駆動する駆動モータと、昇降台を昇降駆動するシリンダと、を備えるセッティング装置51が配置されている。そして、トレー支持台に収納されたトレー10の凹状収納部にハンド24に吸着把持されたウェハWがセッティングされる。
請求項（抜粋）：
ウェハより大径に形成され複数個の穴が形成されるトレーに、前記ウェハをセッティングさせて搬送するウェハとトレーのセッティングシステムであって、少なくとも、前記ウェハを収納するカセットステージと、前記トレーを収納するトレーステージと、前記ウェハを前記トレー上にセッティングするセットステージと、前記ウェハを前記カセットステージから吸着把持するとともに、前記トレーを前記トレーステージから吸着把持して次ステージに搬送する搬送ロボットと、を備えて構成され、前記搬送ロボットが、セットステージにおいてセッティングされたウェハを、前記トレーステージに収納するように搬送することを特徴とするウェハとトレーのセッティングシステム。
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, H01L 21/68 N
