特許
J-GLOBAL ID：200903072585293799
脆性板切断方法およびその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小野寺 洋二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-172814
公開番号（公開出願番号）：特開平6-016442
出願日： 1992年06月30日
公開日（公表日）： 1994年01月25日
要約：
【要約】【目的】 脆性板を如何なるパターンの形状にも高い精度で切断する。【構成】 被加工脆性板に所定パターンの切り溝を形成工程(1)と、被加工脆性板の前記切り溝に対して当該切り溝パターンに沿って突起部材を移動させながら圧力を加え加圧工程(2)とを含み、被加工脆性板の切り溝に沿って面方向互いに反対向きの引っ張り力を印加して切断する。【効果】 切り溝に沿って均一な引っ張り力を与えて脆性板を切断するものであるため、切断すべき形状にこだわらず高精度な脆性板切断が可能である。
請求項（抜粋）：
被加工脆性板に所定の切り溝パターンを形成する切り溝加工工程と、前記被加工脆性板に形成した切り溝に対して当該切り溝のパターンに沿って突起部材を移動しながら前記被加工脆性板の面に直角な方向の圧力を加える加圧工程とを有することを特徴とする脆性板切断方法。
IPC (5件)：
C03B 33/04
, B26F 3/02
, B26F 3/04
, C03B 33/033
, H01L 21/78
