特許
J-GLOBAL ID：200903072587422189
高純度金属フッ化物の製造方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中本 宏 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-062166
公開番号（公開出願番号）：特開平7-242418
出願日： 1994年03月08日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：
【要約】【目的】 目的とする金属に併存する遷移金属の不純物を除去して高純度の金属フッ化物を製造する方法及び装置を提供する。【構成】 Zn、Cd、Ga、In、Pbのいずれか1つの元素を含む水溶液にβ-ジケトンを添加した溶液を、容器の側面部、下部の少なくとも一方から不活性ガスを含む泡を発生、導入する手段を有する装置に導入し、不純物金属を湿式除去し、その後フッ素化剤を用いて前記高純度金属フッ化物の沈殿を作製し、前記沈殿を脱水、乾燥させる高純度金属フッ化物の製造方法。前記元素がZr、Ba、La、Al、又はNaで、有機試薬がジチオカルバメートである高純度金属フッ化物の製造方法。上記特定の装置を包含する製造装置。【効果】 量産化、工程の自動制御化、再現性のある品質の均一化ができる。
請求項（抜粋）：
高純度金属フッ化物を製造する方法において、該金属がZn、Cd、Ga、In、Pbのいずれか1つであり、その元素を含む水溶液にβ-ジケトンを添加し、該金属とβ-ジケトンの両者の溶液を、容器の側面部、下部の少なくとも一方から不活性ガスを含む泡を発生、導入する手段を有する装置に導入し、不純物金属を湿式除去し、その後フッ素化剤を用いて前記高純度金属フッ化物の沈殿を作製し、前記沈殿を脱水、乾燥させることを特徴とする高純度金属フッ化物の製造方法。
IPC (5件)：
C01G 1/06
, C01G 9/04
, C01G 11/00
, C01G 15/00
, C01G 21/16
