特許
J-GLOBAL ID：200903072587558200
極微機械加工により形成したコンベヤ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-044552
公開番号（公開出願番号）：特開平8-085626
出願日： 1995年03月03日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：
【要約】【目的】 極微機械加工により形成した改良装置及びこの装置をつくるための改良された技術の提供。【構成】 内ボア及び外面を持つ所定長さの絶縁材料製チューブ、及びチューブの長さに沿って配置された所定のパターンの導体を有する極微機械加工により形成したコンベヤ。
請求項（抜粋）：
内ボア及び外面を持つ所定長さの絶縁材料製チューブ、及び前記チューブの前記長さに沿って配置された所定のパターンの導体を有することを特徴とする極微機械加工により形成したコンベヤ。
IPC (5件)：
B65G 54/02
, A61B 17/00 320
, A61B 17/04
, B23Q 7/00
, H01L 21/68
