特許

J-GLOBAL ID：200903072592892495

高純度アンモニア水の製造方法

発明者： 横間 久人 ,  森川 文博 ,  角田 誠 ,  平井 栄一
出願人/特許権者： 日産化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-105882
公開番号（公開出願番号）：特開平10-297919
出願日： 1997年04月23日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：

【要約】【課題】 本発明の目的は、半導体用のシリコンウエーハ及び半導体デバイスのウエット洗浄用に要求される条件を満足する高純度アンモニア水の効率的な製造方法を提供する事にある。【解決手段】 本発明は液体アンモニアまたはアンモニア水を蒸発させて得られるアンモニアを液体アンモニアとし、該液体アンモニアを活性炭で吸着処理した後、加圧蒸留精製して得た液体アンモニアを液体の状態で水とラインミキサーで、混合して、高純度なアンモニア水を得る事を特徴とする高純度アンモニア水の製造方法に関する。

請求項（抜粋）：

液体アンモニアまたはアンモニア水を蒸発させて得られるアンモニアを、液体アンモニアとし、該液体アンモニアを活性炭で吸着処理した後、加圧蒸留精製して得た液体アンモニアを液体の状態で水とラインミキサーで、混合して、高純度なアンモニア水を得る事を特徴とする高純度アンモニア水の製造方法。