特許

J-GLOBAL ID：200903072594379493

感光性樹脂組成物

発明者： 伊東 敏雄 ,  坂田 美和
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-008052
公開番号（公開出願番号）：特開平6-148887
出願日： 1991年01月28日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：

【要約】[目的] 光、電子ビーム、X線またはイオンビーム等の放射線に高感度に感応し、高いO2-RIE耐性を有する新規な感光性樹脂組成物を提供すること。[構成] バインダーとして下記(A)式で示され重量平均分子量が7,000のポリ(アリルシルセスキオキサン)を含み、架橋剤としてo-ニトロベンジルシクロヘキシルカルバメートを含み、必要に応じ、架橋促進剤としてテトラフェノキシシランを含む感光性樹脂組成物。【化1】

請求項（抜粋）：

ポリ(シルセスキオキサン)と、放射線照射により塩基を発生する塩基発生物質とを含んで成ることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/075 511 ,  G03F 7/26 511 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/30 301 R ,  H01L 21/30 361 S