特許

J-GLOBAL ID：200903072595074262

放射線感応性樹脂組成物

発明者： 伊東 敏雄 ,  坂田 美和 ,  小菅 眞樹
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-124774
公開番号（公開出願番号）：特開平5-323611
出願日： 1992年05月18日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：

【要約】【目的】 放射線に対し高い感度及び解像力を有しかつ優れたO2 -RIE耐性を有する新規な放射線感応性樹脂組成物を提供すること。【構成】 下記(α)式で示されるt-ブチルエステルシロキサン(重量平均分子量137900、比分散1.8 )0.5gと、トリフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート50mgと、溶剤としての2-メトキシ酢酸エチル4mlとを混合して放射線感応性樹脂組成物を構成する。【化1】

請求項（抜粋）：

ポリ(シロキサン)であってその側鎖に、炭素基を1つ以上隔てて、酸で切断されるC-O結合を有しているポリ(シロキサン)と、照射される放射線の作用により分解して酸を発生する酸発生剤とを含むことを特徴とする放射線感応性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/075 511 ,  C08L 83/04 LRT ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/038 505 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027