特許
J-GLOBAL ID：200903072601073842
超微粒子膜を用いた接合方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-341449
公開番号（公開出願番号）：特開平6-169161
出願日： 1992年11月27日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：
【要約】【目的】 接合時に必要なエネルギーが小さな接合方法を提供する。【構成】 被接合部材1の接合面1aにノズル13から超微粒子2aを高速で噴射させて被接合部材1の接合面1aに超微粒子膜2を形成する。超微粒子膜2の上に接合部材3の接合面3aを重ね、所定の圧力で押圧する。接合面1a,3aに接合エネルギーを印加して接合部材3と被接合部材1を接合させる。
請求項（抜粋）：
接合部材と被接合部材の少なくとも一方の接合面に超微粒子膜を形成し、当該超微粒子膜を介して前記接合部材と被接合部材を重ね合わせ、接合エネルギーを与えることによって接合部材と被接合部材を接合させることを特徴とする超微粒子膜を用いた接合方法。
IPC (2件)：
H05K 3/34
, H01L 21/60 301
