特許

J-GLOBAL ID：200903072601640640

感光性樹脂組成物及びこれを利用したドライフィルムレジスト

発明者： キム、ボン-ギ ,  パク、セオン-モ ,  パク、チャン-セオク
出願人/特許権者： ドウジン セミケム カンパニー リミテッド
代理人 (4件)： 鈴木 崇生 ,  梶崎 弘一 ,  尾崎 雄三 ,  谷口 俊彦
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-507835
公開番号（公開出願番号）：特表2006-525407
出願日： 2004年05月06日
公開日（公表日）： 2006年11月09日
要約：

本発明は、アルカリ可溶性感光性樹脂組成物及びこれを利用したドライフィルムレジストに係り、より詳しくは、接着向上効果のあるアクリレート樹脂を含んで耐熱性、耐薬品性、経時安定性が優れており、CuあるいはITO(indium tin oxide)基板に対する密着性に優れた感光性樹脂組成物及びこれを利用した感光性ドライフィルムレジストに関するものである。

請求項（抜粋）：

下記の化学式1で示されるアクリレート樹脂:

IPC (5件)：

C08F 220/26 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/028

FI (7件)：

C08F220/26 ,  G03F7/033 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/027 502 ,  G03F7/028 ,  G03F7/004 505 ,  G03F7/004 501

Fターム (32件)：

2H025AA14 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC42 ,  2H025CA01 ,  2H025CA09 ,  2H025CA28 ,  2H025CB14 ,  2H025CB42 ,  2H025CB55 ,  2H025CC03 ,  2H025CC04 ,  2H025CC11 ,  4J100AB02Q ,  4J100AJ02P ,  4J100AJ08P ,  4J100AJ09P ,  4J100AL03S ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL09S ,  4J100BA08R ,  4J100BA27Q ,  4J100BA64R ,  4J100BB01Q ,  4J100BC43Q ,  4J100CA03 ,  4J100DA01 ,  4J100FA30 ,  4J100JA38