特許
J-GLOBAL ID：200903072604975197
高速圧力制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-070862
公開番号（公開出願番号）：特開平6-259144
出願日： 1993年03月05日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】 チャンバー容積の増大に伴う調圧時間の増大を解決し、チャンバー容積に左右されずに調圧時間を短縮することのできる高速圧力制御方法を提供する。【構成】 圧力を制御するチャンバー1と、このチャンバー1内にガス5を導入するマスフローコントローラ4と、このチャンバー1内のガス5を可変コンダクタンスバルブ2を介して吸引するターボ分子ポンプ3と、このマスフローコントローラ4を制御する主制御部8と、チャンバー1内の圧力を受けて上記可変コンダクタンスバルブ2と主制御部8を制御する自動制御ユニット7とよりなり、自動制御ユニット7は高真空に真空引きしたチャンバー1内にガスを導入する際、チャンバー1内の圧力が設定圧力Pに達するまでガスの流量を一次の高い設定値による一定流量Q1 で本来の設定流量Qよりも大量に流し込み、次に設定圧力Pに達したと同時に二次の本来の設定流量Qにするように制御する。
請求項（抜粋）：
圧力を制御するチャンバーと、このチャンバー内にガスを導入するマスフローコントローラと、このチャンバー内のガスを可変コンダクタンスバルブを介して吸引するターボ分子ポンプと、このマスフローコントローラを制御する主制御部と、チャンバー内の圧力を受けて上記可変コンダクタンスバルブと主制御部を制御する自動制御ユニットとよりなり、自動制御ユニットは高真空に真空引きしたチャンバー内にガスを導入する際、チャンバー内の圧力が設定圧力に達するまでガスの流量を一次の高い設定値による一定流量で本来の設定流量よりも大量に流し込み、次に設定圧力に達したと同時に二次の本来の設定流量にするように制御したことを特徴とする高速圧力制御方法。
引用特許：
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