特許
J-GLOBAL ID：200903072606530699
静電容量式圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 實三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-073969
公開番号（公開出願番号）：特開平9-264804
出願日： 1996年03月28日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：
【要約】【課題】ダイアフラムに負圧が加わっても、性能が損なわれない静電容量式圧力センサの提供。【解決手段】基板11およびダイアフラム12に対向配置された電極13〜15の静電容量の変化により圧力を検出する圧力センサ10であって、ダイアフラム12には、電極13が設けられる面とは反対側の面の周縁に沿ってリング状の補強部30が設けられている。負圧により、ダイアフラム12が基板11側とは反対の方向へ撓んでも、補強部30により、ダイアフラム12の周縁部分の弾性変形が抑制され、接合部材16に加わる張力がその内周縁部分16A に集中せず、接合部材16の全体に分散され、接合部材16が、張力には脆い接合ガラスであっても、接合部材16の破損が防止される。
請求項（抜粋）：
厚肉の基板と、所定の間隔を置いて前記基板と対向して配置された薄肉のダイアフラムと、前記基板の前記ダイアフラムと対向する面に設けられた第1の電極と、前記ダイアフラムの前記基板と対向する面に設けられた第2の電極とを有し、前記ダイアフラムに加わる圧力を前記第1および第2の電極間の静電容量の変化により検出する静電容量式圧力センサであって、前記ダイアフラムには、前記第2の電極が設けられる面とは反対側の面の周縁に沿ってリング状の補強部が設けられていることを特徴とする静電容量式圧力センサ。
引用特許：
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