特許
J-GLOBAL ID:200903072610353114

光ディスク原盤露光装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 酒井 宏明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-081631
公開番号(公開出願番号):特開2002-279700
出願日: 2001年03月21日
公開日(公表日): 2002年09月27日
要約:
【要約】【課題】 高精度送りを実現できる光ディスク原盤露光装置を提供する。【解決手段】 光ディスク原盤露光装置の基台に、動吸振器、動吸振器の共振周波数を自在設定可能な共振周波数制御部、半径位置表示器を設ける。
請求項(抜粋):
光ディスク原盤にレーザ光を照射して所定の情報を記録する露光用光学系と、前記露光用光学系から導かれた露光ビームを集光させる集光手段と、基台に固定され、前記集光手段を搭載して光ディスク原盤の半径方向に移動可能なスライダと、前記スライダの半径位置を検出する位置検出手段と、前記位置検出手段の出力に基づいて前記スライダの動作を制御するスライダコントローラと、前記集光手段に対向し光ディスク原盤を搭載して回転自在な回転機構と、を備え、前記基台に動吸振器と、該動吸振器の共振周波数を自在設定可能な共振周波数制御部と、半径位置表示器とを備えたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
Fターム (3件):
5D121AA02 ,  5D121BB38 ,  5D121JJ03

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