特許
J-GLOBAL ID：200903072615506032
微動ステージ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
江原 省吾 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-200177
公開番号（公開出願番号）：特開平10-048531
出願日： 1996年07月30日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課題】 圧電素子の予圧や板バネのバネ特性のバラツキ等による位置決め精度の低下を抑制する。【解決手段】 固定部2と可動部3との間に設けた空間mに圧電素子6を配置し、固定部2に螺装した予圧調整ネジ7で圧電素子6を可動部3に所定の予圧で押し付けて固定する。可動部3の圧電素子6と反対側に一対のバネ材8と制振ゴム10を配置する。
請求項（抜粋）：
固定部、固定部に対して相対変位可能な可動部、及び、可動部の両端部を固定部に対して弾性支持する複数の板バネからなる一体構造のステージと、ステージの固定部と可動部との間に介在して、可動部を固定部に対して所定方向に押圧する圧電素子と、ステージの固定部に装着され、圧電素子を所定方向に押圧して、圧電素子と可動部との予圧を調整する予圧調整手段とを具備したことを特徴とする微動ステージ装置。
IPC (3件)：
G02B 21/26
, G12B 5/00
, H01L 21/68
G02B 21/26
, G12B 5/00 A
, H01L 21/68 K
