特許

J-GLOBAL ID：200903072618962730

放射線検出器アレイの製造方法

発明者： 戸波 寛道 ,  和田 幹生
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-041033
公開番号（公開出願番号）：特開平8-233942
出願日： 1995年02月28日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【目的】 放射線検出器アレイを製造する場合に、検出器アレイの各チャネル間の間隔を容易に制御でき、また、簡単に遮光壁等の形成作業が行え、配列精度を向上させることができるとともにシンチレータ結晶を無駄なく使用することができるようにする。【構成】 直方体状のシンチレータ結晶1を基板2に接着し、シンチレータ結晶1に平行に多数の幅W1の溝3を切削して所定形状の各シンチレータ素子1Aを形成した後、基板2に幅W2の溝4を切削し、各基板素子2Aを形成する。ここで、W1>W2となるように溝が形成される。次に、シンチレータ素子1Aの側面に遮光壁5を形成した後、これらを再び集めて各素子列の側面を接合しシンチレータ素子列の上に、フォトダイオードアレイ6を接着固定する。

請求項（抜粋）：

放射線透過性の基板上にブロック状の蛍光体を接合した後、前記ブロック状の蛍光体に平行に多数の溝を切削してアレイ状に分割された蛍光体素子列を形成し、その後前記基板を前記切削溝幅より狭い幅の溝で蛍光体素子列に沿って切断して各素子を一旦分割分離し、これら各蛍光体素子の側面に遮光壁を形成した後、再び蛍光体素子列を構成するように各素子を集積接合し、その後蛍光体素子列の基板とは反対側の面に光電変換素子を取り付けることを特徴とする放射線検出器アレイの製造方法。