特許
J-GLOBAL ID：200903072624976467
プローブカード及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-333030
公開番号（公開出願番号）：特開2001-153888
出願日： 1999年11月24日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：
【要約】【目的】 仮想的な境界線の交差部の周りの複数のチップを同時に検査することができるにも関わらず、接触部がチップの電極に確実に接触する構造とすること。【解決手段】 プローブカードはプローブシート組立体を含む。プローブシート組立体は、取付部材と弾性体とを組み付けて取付部材側を底辺とするほぼ三角形の断面形状を有する長尺の複数の取付ブロックを形成し、複数の接触部が1列以上に形成された少なくとも1つの領域をそれぞれ有するシート状体を各取付ブロックに接触部が前記弾性体の頂部付近の位置にあってその頂部の方向に配列する状態に配置し、取付ブロックの取付部材接続基板の一方の面に配置された格子状のフレームの長方形の少なくとも1つの辺に該辺の長手方向へ伸びる状態に配置している。各シート状体は、少なくとも取付ブロックの少なくとも一つの斜面に装着されている。
請求項（抜粋）：
プローブシート組立体を含み、該プローブシート組立体は、接続基板と、該接続基板の一方の面に配置された格子状のフレームであって長方形をした複数の開口をマトリクス状に有するフレームと、該フレームの前記接続基板と反対側にあって長方形の少なくとも1つの辺に該辺の長手方向へ伸びる状態に配置された複数の取付部材と、該取付部材の前記接続基板と反対の側にあって各取付部材にこれの長手方向へ伸びる状態に配置された弾性体と、複数の接触部が1列以上に形成された少なくとも1つの領域をそれぞれ有しかつ複数のプローブ領域を互いに共同してマトリクス状に形成する複数のシート状体とを含み、前記取付部材及び前記弾性体は、前記フレームの側を底辺とするほぼ三角形の断面形状を有する取付ブロックを共同して形成しており、各シート状体は、前記複数の接触部が前記弾性体の頂部付近の位置にあってその頂部の方向に配列する状態に、少なくとも前記取付ブロックの少なくとも一つの斜面に装着されている、プローブカード。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 F
, H01L 21/66 B
2G011AA03
, 2G011AB00
, 2G011AB06
, 2G011AC14
, 2G011AD01
, 2G011AE03
, 2G011AF07
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106BA01
, 4M106DD03
, 4M106DD09
, 4M106DD10
, 4M106DD16
