特許

J-GLOBAL ID：200903072626042690

ポリマーネットワークを有する低誘電率材料

発明者： ラウ,クライスラー ,  リウ,フオン・チユワン ,  コロリヨフ,ボリス ,  ブルーク,エマ ,  ジエレビン,ルスラン ,  ナレハーイエク,デイビツド
出願人/特許権者： ハネウエル・インターナシヨナル・インコーポレーテツド
代理人 (5件)： 川口 義雄 ,  井上 満 ,  一入 章夫 ,  小野 誠 ,  大崎 勝真
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-512266
公開番号（公開出願番号）：特表2004-504424
出願日： 2001年07月12日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：

低誘電率材料は第1および第2の成分からつくられるポリマーネットワークを有する。第1の成分はポリマー鎖を含み、また第2の成分は、少なくとも3つの腕が、そこから延びている中心部分を有する分子を含み、それぞれの腕は活性基をもつ骨格を含む。第1の成分および第2の成分は、第1および第2の成分が熱的に活性化されたとき、反応基の少なくとも1つを含む反応でポリマーネットワークを形成する。想定されている低誘電率材料は、電子デバイスの製造に有利に用いられ、特に想定されているデバイスには集積回路が含まれる。

請求項（抜粋）：

少なくとも第1の成分および第2の成分からつくられたポリマーネットワークを含み、 第1の成分がポリマー鎖を含み; 第2の成分が、中心部分から延びている少なくとも3つの腕を有する中心部分を有する分子を含み、それぞれの腕が反応基を有する骨格を含み; 第1の成分と第2の成分が熱的に活性化されたとき、第1の成分と第2の成分が、前記反応基の少なくとも1つを含む反応でポリマーネットワークを形成する低誘電率材料。

IPC (4件)：

C08G85/00 ,  C08G65/40 ,  H01B3/30 ,  H01B3/42

FI (5件)：

C08G85/00 ,  C08G65/40 ,  H01B3/30 C ,  H01B3/30 F ,  H01B3/42 G

Fターム (24件)：

4J005AA24 ,  4J005AA25 ,  4J005AA26 ,  4J031AA30 ,  4J031AA53 ,  4J031AA55 ,  4J031AA57 ,  4J031AA59 ,  4J031AB01 ,  4J031AB04 ,  4J031AC01 ,  4J031AD01 ,  4J031AF23 ,  4J031BD23 ,  4J031CD02 ,  4J031CD08 ,  5G305AA11 ,  5G305AB10 ,  5G305BA05 ,  5G305CA13 ,  5G305CA20 ,  5G305CA21 ,  5G305CA24 ,  5G305CB26