特許
J-GLOBAL ID：200903072627294065
位置合わせ方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
笹岡 茂 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-018475
公開番号（公開出願番号）：特開平8-192337
出願日： 1995年01月10日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：
【要約】【目的】 信頼性が悪く、形状精度の悪い位置合わせマークの対象物に対して、高精度な位置合わせを可能にすることにある。【構成】 対象物の4つのコーナに3行3列に配置した9個の位置合わせマーク(以下、マーク)を設け、各コーナのマークの画像をTVカメラ等の2次元センサで取り込み、取り込んだ画像から画像認識装置により各マークの位置を認識し、各コーナ毎に各マークの基準位置を予め定め、各マーク毎に各マークの基準位置と対応する認識した各マークの位置を比較し、各マーク毎のずれ量を求め、各コーナ毎に全てのマーク毎のずれ量を平均してコーナのずれ量を求め、全てのコーナのずれ量に基づき対象物のずれ量および回転移動量を求め、該対象物のずれ量および回転移動量に基づき対象物を移動して位置合わせをする。図にマークの検出画像(a)と、各マークの基準位置と認識位置(b)を示す。
請求項（抜粋）：
対象物の複数の領域内にそれぞれ多数の位置合わせマークを設け、各領域の位置合わせマークの画像をTVカメラ等の2次元センサで取り込み、取り込んだ画像から画像認識装置により前記各位置合わせマークの位置を認識し、各領域毎に各位置合わせマークの基準位置を予め定め、各領域毎に前記各位置合わせマークの基準位置と対応する前記認識した各位置合わせマークの位置を比較し、各位置合わせマーク毎のずれ量を求め、各領域毎に全ての位置合わせマーク毎のずれ量を平均して領域のずれ量を求め、全ての前記領域のずれ量に基づき対象物のずれ量および回転移動量を求め、該対象物のずれ量および回転移動量に基づき対象物を移動して位置合わせすることを特徴とする位置合わせ方法。
IPC (4件)：
B23Q 15/22
, B23Q 17/24
, G05B 19/18
, H05K 3/00
