特許
J-GLOBAL ID：200903072634149488
除振装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-250597
公開番号（公開出願番号）：特開平6-288432
出願日： 1992年08月26日
公開日（公表日）： 1994年10月11日
要約：
【要約】【目的】 機械装置等が搭載された浮上テーブルに固有振動が生じた場合に、その振動を速やかに減衰させることのできる磁気浮上による除振装置を提供する。【構成】 振動を嫌う機械装置を搭載する浮上テーブルと、該浮上テーブルに固定した磁性体継鉄と、該磁性体継鉄を磁気力により非接触で浮上支持する設置床に固定した浮上用電磁石と、該浮上用電磁石と前記磁性体継鉄の隙間を測定する変位センサと、該変位センサからの出力を基に前記浮上用電磁石の励磁電流を出力する補償回路、パワーアンプから構成されるコントローラとを備え、前記浮上テーブルを非接触で浮上支持する除振装置において、前記浮上テーブル1は、複数枚の板材21,22,23を重ね、それぞれの板材の相対すべりを許容した締結手段24により、一体化された構造であることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
振動を嫌う装置を搭載する浮上テーブルと、該浮上テーブルに固定した磁性体継鉄と、該磁性体継鉄を磁気力により非接触で浮上支持する設置床に固定した浮上用電磁石と、該浮上用電磁石と前記磁性体継鉄の隙間を測定する変位センサと、該変位センサからの出力を基に前記浮上用電磁石の励磁電流を出力する補償回路、パワーアンプから構成されるコントローラとを備え、前記浮上テーブルを非接触で浮上支持する除振装置において、前記浮上テーブルは、複数枚の板材を重ね、それぞれの板材の相対すべりを許容した締結手段により、一体化された構造であることを特徴とする除振装置。
IPC (5件)：
F16F 15/03
, F16F 15/02
, G05D 19/02
, G12B 9/08
, H01J 37/16
