特許
J-GLOBAL ID：200903072640921540

レーザー光照射装置、レーザー光照射方法並びに半導体装置の作製方法

発明者：
田中 幸一郎

田中 幸一郎 について


出願人/特許権者：
株式会社半導体エネルギー研究所

株式会社半導体エネルギー研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-003072
公開番号（公開出願番号）：特開2007-214554
出願日： 2007年01月11日
公開日（公表日）： 2007年08月23日
要約：
【課題】ビームエキスパンダー光学系を介して被照射物にレーザー光の照射を行う場合に、被照射物へのレーザー光の照射位置の誤差を低減するレーザー光照射装置およびレーザー光の照射方法の提供を目的とする。【解決手段】レーザー発振器からレーザー光を射出し、レーザー光を補正レンズを介して凹レンズを有するビームエキスパンダー光学系に入射させる際、レーザー発振器の射出点を第1の共役点、第1の共役点の像が補正レンズを介して結像される点を第2の共役点、補正レンズから第2の共役点までの距離をb、凹レンズの焦点距離をf、補正レンズと凹レンズとの距離をXとすると、Xが、b-3f≦X≦b+f、を満たすようにレーザー発振器、補正レンズおよび凹レンズを配置させる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
レーザー発振器と、前記レーザー発振器から発振されたレーザー光を入射させるビームエキスパンダー光学系と、前記レーザー発振器と前記ビームエキスパンダー光学系との間に配置された補正レンズとを有し、 前記ビームエキスパンダー光学系は入射口に凹レンズを有し、 前記レーザー発振器の射出点を第1の共役点、前記第1の共役点の像が前記補正レンズを介して結像される点を第2の共役点、前記補正レンズから前記第2の共役点までの距離をb、前記凹レンズの焦点距離をf、前記補正レンズと前記凹レンズとの距離をXとすると、 前記Xが、b-3|f|≦X≦b+|f|、 を満たすことを特徴とするレーザー光照射装置。
IPC (4件)：
H01L 21/268 ,  H01L 21/20 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336
FI (4件)：
H01L21/268 J ,  H01L21/268 F ,  H01L21/20 ,  H01L29/78 627G
Fターム (114件)：
5F110AA16 ,  5F110AA26 ,  5F110BB02 ,  5F110BB20 ,  5F110CC02 ,  5F110DD01 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE09 ,  5F110EE14 ,  5F110EE15 ,  5F110EE32 ,  5F110EE44 ,  5F110EE45 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF09 ,  5F110FF25 ,  5F110FF26 ,  5F110FF28 ,  5F110FF29 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG25 ,  5F110GG43 ,  5F110GG45 ,  5F110GG47 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ12 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ23 ,  5F110HK05 ,  5F110HL01 ,  5F110HL02 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL06 ,  5F110HL08 ,  5F110HL11 ,  5F110HL23 ,  5F110HL24 ,  5F110HM15 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN33 ,  5F110NN34 ,  5F110NN35 ,  5F110NN36 ,  5F110NN71 ,  5F110PP01 ,  5F110PP02 ,  5F110PP03 ,  5F110PP04 ,  5F110PP05 ,  5F110PP06 ,  5F110PP10 ,  5F110PP24 ,  5F110PP29 ,  5F110PP34 ,  5F110PP35 ,  5F110QQ06 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ16 ,  5F110QQ23 ,  5F152AA03 ,  5F152AA08 ,  5F152BB02 ,  5F152CD13 ,  5F152CD14 ,  5F152CD15 ,  5F152CD17 ,  5F152CE05 ,  5F152CE13 ,  5F152CE14 ,  5F152CE16 ,  5F152CE24 ,  5F152CE45 ,  5F152CF18 ,  5F152EE02 ,  5F152EE04 ,  5F152FF02 ,  5F152FF03 ,  5F152FF04 ,  5F152FF05 ,  5F152FF06 ,  5F152FF07 ,  5F152FF08 ,  5F152FF11 ,  5F152FF22 ,  5F152FF35 ,  5F152FF36 ,  5F152FF39 ,  5F152FG01 ,  5F152FG04 ,  5F152FG18 ,  5F152FG23 ,  5F152FH03 ,  5F152LP01 ,  5F152LP07 ,  5F152LP08 ,  5F152LP09
引用特許：
出願人引用 (1件)

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