特許

J-GLOBAL ID：200903072641047780

有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法、及び有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ

発明者： 長谷川 典夫 ,  中村 明
出願人/特許権者： ミツミ電機株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-018266
公開番号（公開出願番号）：特開2003-217832
出願日： 2002年01月28日
公開日（公表日）： 2003年07月31日
要約：

【要約】【課題】基板に可撓性基板を用いた場合にも変形によって亀裂や剥離が生じにくい保護膜を有する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法、及び有機エレクトロルミネッセンスディスプレイを提供する。【解決手段】保護膜5は、樹脂、特にフッ素樹脂を材料としたスパッタリング法で成膜される。

請求項（抜粋）：

基板上に少なくとも陽極、陰極、前記陽極及び前記陰極に電圧を印加することにより発光する有機層、並びに前記陽極、前記陰極、及び前記有機層を保護する保護膜を有する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、前記保護膜は、樹脂を材料としたスパッタリング法で成膜されることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。

IPC (3件)：

H05B 33/04 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14

FI (3件)：

H05B 33/04 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A

Fターム (7件)：

3K007AB12 ,  3K007AB13 ,  3K007BA07 ,  3K007BB02 ,  3K007CA06 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01