特許

J-GLOBAL ID：200903072650195058

スラリー供給装置

発明者： 大 石 俊 夫
出願人/特許権者： 東芝機械株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-177445
公開番号（公開出願番号）：特開平9-029637
出願日： 1995年07月13日
公開日（公表日）： 1997年02月04日
要約：

【要約】【課題】 スラリー配管内のスラリーの固形化または沈澱を防止するとともに、スラリー吐出部へのスラリーの付着を防止する。【解決手段】 スラリータンク9内のスラリーを定盤19に対向するように設けられたスラリー吐出部18まで送出するスラリー供給ライン16と、スラリー吐出部18の上流から引出され、スラリー供給ライン16を通って送られてきたスラリーをスラリータンク9に還流させる戻しライン20と、純水供給源22から延出し、スラリー吐出部の18直近上流側に接続される純水供給ライン23と、スラリー供給ライン16、戻しライン20、純水供給ライン23の間で選択的に流路を切り換えるライン切換手段17、21、24とを備える。

請求項（抜粋）：

ウェーハをポリッシング加工する定盤上に研磨材として用いるスラリーを供給するためのスラリー供給装置において、スラリータンク内のスラリーを定盤に対向するように設けられたスラリー吐出部まで送出するスラリー供給ラインと、前記スラリー供給ラインのスラリー吐出部近傍の上流から引出され、スラリー供給ラインを通って送られてきたスラリーを前記スラリータンクに還流させるスラリー戻しラインと、純水供給源から延出し、前記スラリー戻しラインより下流側の前記スラリー吐出部の直近上流側に接続される純水供給ラインと、前記スラリー供給ラインをスラリー吐出部と、スラリー戻しラインに対し、また純水供給ラインをスラリー供給ラインに対して選択的に接続するライン切換手段とを具備することを特徴とするスラリー供給装置。