特許
J-GLOBAL ID：200903072659043544
分解性化合物および分解性樹脂並びにこれらを用いた感光性樹脂組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-327775
公開番号（公開出願番号）：特開平7-181677
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：
【要約】【目的】 パターン形状の悪化や現像後のパターン倒れを防止し、しかも高解像度で放射線露光に対する高い感度を有する放射線感応レジストとなる感光性樹脂組成物を得ることができる。【構成】 一般式(1)で示される原子団を側鎖に含有する、テレビ酸のポリビニルフェノールエステルと光または放射線の照射により酸を発生するトリフェニルスルホニウムトリフレイトとから成る。【化1】
請求項（抜粋）：
分子中に一般式(1)および一般式(2)の少なくとも一方で示される原子団【化1】を含有する分解性化合物。
IPC (6件)：
G03F 7/038 505
, C08L101/02 LTB
, G03F 7/004 503
, G03F 7/028
, G03F 7/039 501
, H01L 21/027
