特許
J-GLOBAL ID：200903072661759794
X線分析装置及びコンピュータプログラム
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
河野 登夫
, 河野 英仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-258236
公開番号（公開出願番号）：特開2004-093511
出願日： 2002年09月03日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：
【課題】試料内部も含めた相分離を行うことができるX線分析装置及びコンピュータプログラムを提供する。【解決手段】試料20が載置される試料ステージ24と、載置された試料20にX線を照射するX線照射手段12,14と、試料20へのX線照射によって生じる蛍光X線を検出する蛍光X線検出手段16と、試料20を透過した透過X線を検出する透過X線検出手段22と、検出した蛍光X線及び透過X線に基づいて、試料20の組成が類似する部分の分布を分析する分析手段40,42と、試料20の組成が類似する部分の分布を表示する表示手段44とを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被照射体が載置される被照射体ステージと、
被照射体ステージに向けて1次X線を照射するX線照射手段と、
被照射体のX線照射位置が変化するように、被照射体ステージを移動する移動手段と、
被照射体へのX線照射によって生じる2次X線を検出する2次X線検出手段と、
被照射体を透過した透過X線を検出する透過X線検出手段と、
検出した2次X線及び透過X線に基づいて、被照射体のX線照射領域内の組成が類似する部分の分布を分析する分析手段と
を備えることを特徴とするX線分析装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (23件)：
2G001AA01
, 2G001BA04
, 2G001BA11
, 2G001BA30
, 2G001CA01
, 2G001DA02
, 2G001DA06
, 2G001DA10
, 2G001FA06
, 2G001GA01
, 2G001GA06
, 2G001HA09
, 2G001HA13
, 2G001JA07
, 2G001JA13
, 2G001JA16
, 2G001KA01
, 2G001KA20
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G001PA07
, 2G001PA11
, 2G001SA02
出願人引用 (3件)
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特開昭64-006850
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特開平2-248848
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X線分析装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-346077
出願人：株式会社堀場製作所
審査官引用 (3件)
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特開昭64-006850
-
特開平2-248848
-
X線分析装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-346077
出願人：株式会社堀場製作所
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