面発光素子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-136343
公開番号（公開出願番号）：特開平6-350191
出願日： 1993年06月08日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：

【要約】【目的】 2次元集積化に適した電力/光変換効率の高い面発光素子を実現する。【構成】 n形GaAs基板10上にn形GaAs/AlAs多層反射膜20、n形GaAs層11、In0 . 2 Ga0 . 8 As活性層12、p形GaAsクラッド層13を順次形成する。p形クラッド層13、活性層12、n形GaAs層11、n形多層反射膜20の一部をエッチングした後、p形GaAs/AlAs多層反射膜21を全面に成長する。絶縁膜22を選択的に形成した後、p形多層反射膜21を覆うようにアノード電極31を形成する。この電極31は金属反射膜としても機能する。ウェハーの一部をエッチングし、n形多層反射膜20上にカソード電極30を形成する。

請求項（抜粋）：