特許

J-GLOBAL ID：200903072665029294

マイクロインジェクティングデバイスのワ-キング溶液注入装置及びワ-キング溶液注入方法

発明者： 安 秉善 ,  ドナイエフ ボリス ニコラエビッチ ,  ラブリシエフ バジム ペトロビッチ
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 亀谷 美明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-314347
公開番号（公開出願番号）：特開2000-141690
出願日： 1999年11月04日
公開日（公表日）： 2000年05月23日
要約：

【要約】【課題】 製造工程を単純化し,製品の生産時間を短縮させて,生産収率を向上させたマイクロインジェクティングデバイスのワーキング溶液注入装置及びワーキング溶液注入方法を提供する。【解決手段】 エア供給および吸入装置406と連結された真空チャンバ400内部にワーキング溶液容器401を配置し,容器の内部にマイクロインジェクティングデバイスを装着した多数個のカートリッジ200を同時に浸した後,エア供給および吸入装置406を作動させて真空チャンバ400の内部を高真空状態にすることにより,ワーキング溶液容器401内のワーキング溶液が各マイクロインジェクティングデバイスの加熱チャンバ4内に一括して充填されるようにする。

請求項（抜粋）：

真空チャンバと,前記真空チャンバ内部にエアを供給し,または前記真空チャンバ内部からエアを吸入して前記真空チャンバ内部の真空状態を調節するエア供給および吸入装置と,ワーキング溶液を収容して前記真空チャンバの内部に配置されるワーキング溶液容器と,多数個のマイクロインジェクティングデバイスが装着されたカートリッジを搭載して前記ワーキング溶液内に浸るカートリッジ収納容器とを含むことを特徴とするマイクロインジェクティングデバイスのワーキング溶液注入装置。