特許

J-GLOBAL ID：200903072672673310

ディスク基板の洗浄装置

発明者： 戸田 久志
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-293404
公開番号（公開出願番号）：特開2000-117204
出願日： 1998年10月15日
公開日（公表日）： 2000年04月25日
要約：

【要約】【課題】 洗浄水に異物を混入させることなく、安定して洗浄水を供給することが可能で洗浄効果の優れたディスク基板の洗浄装置の提供。【解決手段】 ディスク基板を直立した状態に支持し回転する回転機構と、洗浄水を供給する洗浄水供給機構と、透水性のスクラブ材を周面に有し回転軸を縦方向とし基板の両面にそれぞれ当接して回転する一対のスクラブロールとからなり、スクラブロールの上端に中空の回転軸が連設されその内部に羽根が固定され、回転軸内に供給された洗浄水を羽根の回転によってスクラブ材を通してディスク基板表面に送給するようにしてなるディスク基板の洗浄装置。

請求項（抜粋）：

ディスク基板を直立した状態に支持し回転する回転機構と、洗浄水を供給する洗浄水供給機構と、透水性のスクラブ材を周面に有し回転軸を縦方向とし基板の両面にそれぞれ当接して回転する一対のスクラブロールとからなり、スクラブロールの上端に中空の回転軸が連設されその内部に羽根が固定され、回転軸内に供給された洗浄水を羽根の回転によってスクラブ材を通してディスク基板表面に送給するようにしてなるディスク基板の洗浄装置。

IPC (4件)：

B08B 3/04 ,  B08B 1/04 ,  G11B 7/26 531 ,  G11B 23/50

FI (4件)：

B08B 3/04 A ,  B08B 1/04 ,  G11B 7/26 531 ,  G11B 23/50 C

Fターム (22件)：

3B116AA03 ,  3B116AB02 ,  3B116AB33 ,  3B116AB42 ,  3B116BA15 ,  3B116BB62 ,  3B116BB90 ,  3B201AA03 ,  3B201AB02 ,  3B201AB33 ,  3B201AB42 ,  3B201BA15 ,  3B201BB62 ,  3B201BB90 ,  3B201BB92 ,  3B201BB94 ,  3B201CA05 ,  3B201CB22 ,  5D121AA02 ,  5D121GG11 ,  5D121GG18 ,  5D121GG28