特許

J-GLOBAL ID：200903072675426771

感光方法および光学ヘッド

発明者： 松▲ざき▼ 圭一 ,  塩野 照弘 ,  細美 哲雄
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 松田 正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-216262
公開番号（公開出願番号）：特開2000-048396
出願日： 1998年07月30日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：

【要約】【課題】従来、感光性材料を用いて微細構造を生成するさい、その感光性材料の膜厚が不均一になるという課題があった。【解決手段】シリコン基板2の上に形成された電子回路3の上にフォトレジスト1を塗布し、さらにそのフォトレジスト1の上に、表面が実質上平滑なガラス基板4を、その実質上平滑な表面をフォトレジスト1に向けながらのせ、ガラス基板4の外側から、紫外光6を照射することによってフォトレジスト1の一部を感光させる。その後、ガラス基板4を取り除く。

請求項（抜粋）：

第一の基板の上、またはその第一の基板上に形成された所定の構造物の上に感光性材料を形成し、さらにその感光性材料の上に、表面が実質上平滑な第二の基板を、その実質上平滑な表面を前記感光性材料に向けながらのせ、前記第一の基板および前記第二の基板のうちの透光性を有する基板の外側から、所定の光を照射することによって前記感光性材料の一部または全部を感光させることを特徴とする感光方法。

IPC (5件)：

G11B 7/135 ,  G02B 5/18 ,  G02B 5/32 ,  G03H 1/04 ,  G03H 1/18

FI (5件)：

G11B 7/135 Z ,  G02B 5/18 ,  G02B 5/32 ,  G03H 1/04 ,  G03H 1/18

Fターム (18件)：

2H049CA01 ,  2H049CA05 ,  2H049CA08 ,  2H049CA20 ,  2H049CA28 ,  2K008AA00 ,  2K008BB04 ,  2K008BB08 ,  2K008CC01 ,  2K008CC03 ,  2K008DD13 ,  2K008EE07 ,  2K008FF17 ,  2K008HH19 ,  5D119AA38 ,  5D119JA14 ,  5D119JA23 ,  5D119JA43