特許
J-GLOBAL ID：200903072676258309

干渉計角度感度較正方法

発明者：
▲葛▼ 宗濤

▲葛▼ 宗濤 について


出願人/特許権者：
フジノン株式会社

フジノン株式会社 について


代理人 (2件)： 川野 宏 ,  緒方 保人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-285707
公開番号（公開出願番号）：特開2008-102051
出願日： 2006年10月20日
公開日（公表日）： 2008年05月01日
要約：
【課題】測定する傾斜角度が所定の角度範囲に限定されるような傾斜角度測定用の干渉計における角度感度を、容易かつ高精度に較正することが可能な干渉計角度感度較正方法を得る。【解決手段】被検面の傾斜角度に対応した所定の被測定角度範囲内においては、被検面の単位長さあたりの干渉縞の本数と傾斜角度との間に、比例関係が成立するとみなして所定の角度感度式を設定し、この設定した角度感度式の比例係数を、被測定角度範囲内の基準傾斜角度をなすように設定された基準傾斜面31の測定結果に基づき較正する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被検面の傾斜情報を担持した干渉縞画像を撮像し、該干渉縞画像に基づき前記被検面の傾斜角度を測定する干渉計における角度感度を較正する方法であって、 前記被検面の傾斜角度に対応した所定の被測定角度範囲内においては、前記被検面の単位長さあたりの干渉縞の本数pと前記傾斜角度θとの間に、所定の比例係数kを用いた比例関係が成立するとみなして、下式(1)で示される角度感度式を設定する角度感度式設定ステップと、 前記被測定角度範囲内の基準傾斜角度αをなすように設定された基準傾斜面を前記干渉計により測定して、該基準傾斜面の単位長さあたりの縞本数p1を求めるとともに、該縞本数p1と下式(1)とに基づき前記基準傾斜角度αの測定仮値α1を算定して、下式(2)の関係を得る測定ステップと、 前記縞本数p1と前記基準傾斜角度αとに基づき下式(3)により、較正された比例係数k1を求め、該較正された比例係数k1を下式(1)の比例係数kと置き換えて下式(4)で示される較正された角度感度式を得る較正ステップと、 をこの順で行うことを特徴とする干渉計角度感度較正方法。 p=k・θ ......(1) p1=k・α1 ......(2) k1=p1/α ......(3) p=k1・θ ......(4)
IPC (3件)：
G01B 9/02 ,  G01B 11/26 ,  G01M 11/00
FI (3件)：
G01B9/02 ,  G01B11/26 G ,  G01M11/00 G
Fターム (25件)：
2F064AA06 ,  2F064AA15 ,  2F064DD09 ,  2F064EE05 ,  2F064GG22 ,  2F064GG44 ,  2F064HH08 ,  2F064HH09 ,  2F064JJ01 ,  2F065AA31 ,  2F065BB06 ,  2F065EE00 ,  2F065FF04 ,  2F065FF51 ,  2F065FF61 ,  2F065HH03 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ31 ,  2F065UU05 ,  2G086AA04
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (11件)
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