特許

J-GLOBAL ID：200903072677477683

マイクロポンプ

発明者： 河合 高志 ,  宮崎 俊一
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-238204
公開番号（公開出願番号）：特開平5-079459
出願日： 1991年09月18日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：

【要約】【目的】 ダイアフラム上に渦巻き状に形成した流路3に対して超音波モ-タをリング状に配置して進行波を発生させることにより,端面の反射の影響を除き,効率のよいマイクロポンプを提供する。【構成】 基板上に形成されたリング状のダイアフラム2と,そのダイアフラム2の表面に渦巻き状に形成された流路3と,その流路の端部付近に形成された入出力ポ-ト4a,4bと,前記ダイアフラム2の裏面に接しリング状に配置された超音波振動発生手段を有する。

請求項（抜粋）：

基板上に形成されたリング状のダイアフラムと,該ダイアフラムの表面に渦巻き状に形成された流路と,該流路の端部付近に形成された流入口及び流出口と,前記ダイアフラムの裏面に接しリング状に配置された超音波振動発生手段を有することを特徴とするマイクロポンプ。