特許
J-GLOBAL ID：200903072677649743
フィルタの設計方法、フィルタ、欠陥検査方法および欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小池 隆彌
, 木下 雅晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-190142
公開番号（公開出願番号）：特開2005-025503
出願日： 2003年07月02日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：
【課題】欠陥検査に要するコストおよびタクトタイムの低減を図るとともに、欠陥部の特徴量を失うことなく、入力画像からモアレ縞だけを極力除去することが可能なフィルタの設計方法、フィルタ、欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供する。【解決手段】モアレ縞無しのムラ欠陥画像である第1の画像21と欠陥無しのモアレ縞画像である第2の画像22とを取得し、これらの分散値P1,P2を取得する。次にパラメータaを仮設定したフィルタ1を用いて、第1および第2の画像21,22から第3および第4の画像23,24を生成し、これらの分散値P3(a),P4(a)を取得する。次に第1および第3の画像の分散値の比Q1(a)と、第2および第4の画像の分散値の比Q2(a)とに基づく評価値I(a)を求める。さらにパラメータaを変更して、前記第4〜第6工程を行う。最終的に全ての評価値I(a)に基づいて、処理パラメータaを決定する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
検査対象物を撮像した入力画像を、設定される処理パラメータを用いて画像処理し、入力画像から欠陥部の画像領域を抽出するフィルタの設計方法であって、
欠陥部を含む検査対象物モデルの画像である第1の画像を取得する第1工程と、
モアレ縞を含む第2の画像を取得する第2工程と、
第1および第2の画像における特徴量であり、欠陥部の有無に依存する特徴量をそれぞれ取得する第3工程と、
前記フィルタにおける処理パラメータとして採用可能なパラメータ群から1つのパラメータを選択して処理パラメータの候補として仮設定し、このフィルタを用いて、第1の画像を画像処理して第3の画像を生成するとともに、第2の画像を画像処理して第4の画像を生成する第4工程と、
第3および第4の画像における前記特徴量をそれぞれ取得する第5工程と、
第1および第3の画像の特徴量の比と、第2および第4の画像の特徴量の比とに基づく評価値を求める第6工程と、
処理パラメータの候補として仮設定されるパラメータを変更して、この変更したパラメータに基づいて前記第4〜第6工程を行う第7工程と、
全ての評価値に基づいて、前記パラメータ群から処理パラメータを決定する第8工程とを有することを特徴とするフィルタの設計方法。
IPC (5件)：
G06T5/00
, G01N21/956
, G06T1/00
, G06T5/50
, H01L21/66
G06T5/00 300
, G01N21/956 A
, G06T1/00 305A
, G06T5/50
, H01L21/66 J
2G051AA51
, 2G051AB02
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051DA07
, 2G051EA23
, 4M106AA01
, 4M106BA20
, 4M106CA38
, 4M106CA39
, 4M106DB21
, 5B057AA03
, 5B057BA02
, 5B057CA08
, 5B057CA12
, 5B057CA16
, 5B057CB08
, 5B057CB12
, 5B057CB16
, 5B057CC02
, 5B057CE02
, 5B057CE05
, 5B057CE06
, 5B057CH09
, 5B057DA03
, 5B057DB02
, 5B057DB09
, 5B057DC22
