特許

J-GLOBAL ID：200903072692970469

光源装置

発明者： 楠瀬 治彦
出願人/特許権者： レーザーテック株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-099805
公開番号（公開出願番号）：特開2000-294491
出願日： 1999年04月07日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：

【要約】【課題】 実効パルスレートを一層高くすることができる光源装置を提供する。【解決手段】 本発明による光源装置は、放射光を放出する複数の光源(1a〜1h)と、1個又はそれ以上の反射面(2a)を有し、各光源(1a〜1h)から放出された放射光を前記光源の共通の光路(L)に沿って出射させる回転反射体(2)と、この回転反射体(2)の反射面(2a)の位置を検出する位置検出装置(5)と、位置検出装置からの出力信号に基き、前記複数の光源を回転反射体の位置に同期して駆動させるための同期信号を発生するタイミング制御回路(6)と、タイミング制御回路からの出力信号に基づき、前記光源を順次パルス駆動させる電源回路(7)とを具えることを特徴とする

請求項（抜粋）：

光を放出する複数の光源と、1個又はそれ以上の反射面を有し、各光源から放出された光を前記光源の共通の光路に沿って出射させる回転反射体と、この回転反射体の反射面の位置を検出する位置検出装置と、位置検出装置からの出力信号に基き、前記複数の光源を回転反射体の位置に同期して駆動させるための同期信号を発生するタイミング制御回路と、タイミング制御回路からの出力信号に基づき、前記光源を順次パルス駆動させる電源回路とを具えることを特徴とする光源装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  H01S 3/00

FI (3件)：

H01L 21/30 527 ,  H01S 3/00 A ,  H01L 21/30 515 B

Fターム (17件)：

5F046BA05 ,  5F046CA02 ,  5F046CA04 ,  5F046CA10 ,  5F046CB10 ,  5F046CB22 ,  5F046CB27 ,  5F072AA06 ,  5F072AB02 ,  5F072GG05 ,  5F072JJ07 ,  5F072KK05 ,  5F072KK15 ,  5F072MM14 ,  5F072RR05 ,  5F072RR07 ,  5F072YY09

引用特許：

審査官引用 (2件)

• レーザー装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-018929   出願人：株式会社東芝
• 特表昭62-502228