特許
J-GLOBAL ID：200903072693958080
酸化物薄膜の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-045423
公開番号（公開出願番号）：特開2002-249878
出願日： 2001年02月21日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
要約：
【要約】【課題】 亜鉛-ガリウム複合酸化物を含む化合物からなる大面積の薄膜を形成することが可能な酸化物薄膜の製造方法を提供する。【解決手段】 本製造方法によれば、ガリウム酸亜鉛を含む酸化物薄膜1fをスプレー熱分解法を用いて作製する。溶媒中に原料X,Yを溶解することにより原料溶液を作製し、基材1sを熱しながら、スプレーガンの噴出口から原料溶液を雰囲気を介して基材1sの表面上に噴霧ことにより、基材1sの表面上で原料を反応させ、亜鉛-ガリウム複合酸化物を含む酸化物薄膜1fを形成される。これを加熱すると、結晶化が進行し、ガリウム酸亜鉛が形成される。
請求項（抜粋）：
亜鉛化合物及びガリウム化合物が溶解した溶液を作製する第1工程と、酸素を含む常圧の雰囲気中に基材を配置し前記基材を加熱する第2工程と、加熱された前記基材の表面上に常圧の前記雰囲気を介して前記溶液を吹き付けることにより、亜鉛-ガリウム複合酸化物を含む酸化物薄膜を前記基材上に形成する第3工程とを備えることを特徴とする酸化物薄膜の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (16件)：
4F100AA17A
, 4F100AA25A
, 4F100AA33A
, 4F100AG00B
, 4F100AT00B
, 4F100BA02
, 4F100EJ42
, 4F100JG01
, 4F100JN01
, 4K022AA03
, 4K022BA15
, 4K022BA25
, 4K022BA28
, 4K022BA33
, 4K022DA06
, 4K022DB19
