除振方法およびその装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長瀬成城
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-020678
公開番号（公開出願番号）：特開2005-106272
出願日： 2004年01月29日
公開日（公表日）： 2005年04月21日
要約：

【課題】正のバネ特性を有する支持機構と並列に、正のバネ特性を有する支持機構と負のバネ特性を有する支持機構を直列に接続した支持機構を配置してなる除振方法を提供する。【解決手段】床1と第1部材2との間にバネを配設して床から第1部材に伝わる振動を絶縁するとともに、前記第1部材2と第2部材3との間に永久磁石と電磁石とから構成されるゼロパワー特性を有する磁気浮上機構4を配設し、さらに床と第2部材との間に正のバネ特性を有する荷重支持機構5を配設することにより、前記第1部材から第2部材に伝わる振動を絶縁するとともに、前記第2部材に係る荷重を前記磁気浮上機構と前記荷重支持機構により支持できるようにしたことを特徴とする除振方法。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ベースと第2部材との間に第1部材を介して正のバネ特性を有する支持機構と負のバネ特性を有する支持機構とを直列に接続した支持機構と、前記支持機構と並列に正のバネ特性を有する荷重支持機構をベースと第2部材との間に配置することにより直動外乱に対して略無限大の剛性を有せしめるとともに、ベースに対する振動を絶縁することを特徴とする除振方法。

IPC (2件)：

F16F15/03 , F16F15/02

FI (4件)：

F16F15/03 A , F16F15/03 C , F16F15/03 E , F16F15/02 A

Fターム (8件)：

3J048AA05 , 3J048AC08 , 3J048AD01 , 3J048BC01 , 3J048BE02 , 3J048CB19 , 3J048DA01 , 3J048EA13

引用特許：

出願人引用 (1件)

除振方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-089264 出願人：科学技術振興事業団

審査官引用 (5件)

特開昭59-084504
特開昭60-042109
特開昭62-275926

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