電子放出源およびその製造方法ならびにこの電子放出源を用いたディスプレイ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-243247
公開番号（公開出願番号）：特開平10-092294
出願日： 1996年09月13日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】【課題】極薄型のディスプレイ装置に用いる、低電圧駆動が可能で長寿命の電子放出源を提供する。【解決手段】電子放出源は、例えばガラス材よりなる下部基板1の表面上に帯状の複数本のカソード電極ライン2が形成され、これらのカソード電極ライン2の上に絶縁層3が成膜され、さらにその上にカソード電極ライン2と交差して帯状に複数本のゲート電極ライン4が形成されていて、カソード電極ライン2とゲート電極ライン4とでマトリクス構造を構成している。各カソード電極ライン2および各ゲート電極ライン4は制御手段15にそれぞれ接続されて駆動制御されている。カソード電極ライン2とゲート電極ライン4との各交差領域においては、ゲート電極ライン4と絶縁層3とを貫通してカソード電極ライン2に達する多数の略円形の孔5が形成され、これら孔5の底部となるカソード電極ライン2の表面に薄膜7が設けられて微小冷陰極を形成している。

請求項（抜粋）：

基板上に互いに交差するゲート電極ラインとカソード電極ラインとを絶縁層を介して積層し、ゲート電極ラインとカソード電極ラインとが交差する部位に、ゲート電極ラインと絶縁層を貫通してカソード電極ラインに達する略円形の微細孔を設けると共に、前記微細孔内にカソード電極ラインと電気的に接続した、微粒子を材料とする薄膜状の微小冷陰極を形成することを特徴とする電子放出源。

IPC (3件)：

H01J 1/30 , H01J 9/02 , H01J 31/12

FI (3件)：

H01J 1/30 A , H01J 9/02 B , H01J 31/12 C

前のページに戻る