特許

J-GLOBAL ID：200903072703427827

基板取り出し装置

発明者： 平瀬 清
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-072852
公開番号（公開出願番号）：特開2002-274609
出願日： 2001年03月14日
公開日（公表日）： 2002年09月25日
要約：

【要約】【課題】 多数の基板を収納したマガジンを一方向に連続して供給でき、基板の取り出しも連続して可能なスループットを改善した基板取り出し装置を提供する。【解決手段】 本発明の基板取り出し装置1は、複数の基板7がその面を垂直かつ並列した状態に保持されたマガジン6を、水平かつ一方向に送る途中で、突き出し部4により基板を基板保持部5に向けてマガジンから突き出し、突き出された基板は基板保持部で保持され、回転し、基板の面を垂直から水平状態にして、ロボット等のアームにより基板を把持し取り出し可能にしている。

請求項（抜粋）：

複数の基板を保持するマガジンから、基板を分離して取り出す基板取り出し装置において、該装置が、複数の基板の面が垂直かつ並列した状態に保持されるように前記マガジンを載置すると共に、前記マガジンを水平に送るマガジン移送部と、前記マガジンを前記マガジン移送部に押圧するマガジン押圧部と、前記マガジン内の基板を突き出す突き出し部と、突き出された基板を支持し、回転して基板の面を垂直から水平にする基板保持部と、を具備することを特徴とする基板取り出し装置。

IPC (4件)：

B65G 1/00 543 ,  B65G 1/00 ,  B65G 1/00 541 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

B65G 1/00 543 C ,  B65G 1/00 543 F ,  B65G 1/00 541 ,  H01L 21/68 V

Fターム (14件)：

3F022CC02 ,  3F022EE05 ,  3F022KK10 ,  3F022KK15 ,  3F022LL32 ,  3F022MM11 ,  5F031CA20 ,  5F031DA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA11 ,  5F031FA18 ,  5F031FA20 ,  5F031GA08 ,  5F031GA24