特許

J-GLOBAL ID：200903072704617441

プラズマ生成装置とそれを用いた真空装置

発明者： 矢島 太郎 ,  赤石 稔 ,  堀下 芳邦
出願人/特許権者： 株式会社アルバック
代理人 (2件)： 石島 茂男 ,  阿部 英樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-063369
公開番号（公開出願番号）：特開2005-251658
出願日： 2004年03月08日
公開日（公表日）： 2005年09月15日
要約：

【課題】 プラズマ再生成時間が短いプラズマ生成装置と真空装置を提供する。 【解決手段】 本発明は、イオン化室の開口に近い第1の電極45に正電圧を印加し、開口から遠い第2の電極46に負電圧を印加し、イオン化室内に生成されたプラズマを引き出し、真空槽内に放出させるプラズマ生成装置であり、第2の電極46にはスイッチ6が接続され、接地電位に接続できるようになっている。イオン化室内のプラズマが消滅した場合にスイッチ6を導通させ、第2の電極46を接地電位に接続し、電子をイオン化室内に引き込み、プラズマを再生成する。そして、第2の電極46を負電圧に戻し、プラズマを引き出す。放電電流がスイッチ6を通って接地電位に流れるので第2の電極46が短時間で接地電位になる。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

気体が導入されるイオン化室と、 前記イオン化室内に交流磁界を形成し、前記イオン化室内に前記気体のプラズマを生成する磁界形成手段と、 前記イオン化室の開口付近に配置され、前記イオン化室のプラズマに含まれる荷電粒子がこの順序で通過可能な第1、第2の電極と、 前記第1の電極に接続されたビーム電源と、 前記第2の電極に接続された加速電源とを有し、 前記第1の電極に正電圧を印加し、前記第2の電極に負電圧を印加すると、前記イオン化室内に生成されたプラズマから正電荷の荷電粒子が引き出されるように構成されたプラズマ生成装置であって、 前記第2の電極を接地電位に接続するスイッチが設けられたプラズマ生成装置。

IPC (4件)：

H01J27/16 ,  H01J37/08 ,  H01J37/317 ,  H05H1/46

FI (4件)：

H01J27/16 ,  H01J37/08 ,  H01J37/317 Z ,  H05H1/46 L

Fターム (6件)：

5C030DD01 ,  5C030DE04 ,  5C030DE09 ,  5C030DG07 ,  5C034CC01 ,  5C034CC13

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 高周波イオン源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-338312   出願人：日新電機株式会社
• イオンビーム発生方法およびその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-274897   出願人：日新電機株式会社
• インピーダンス整合装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-338208   出願人：株式会社京三製作所
• 特開昭62-235485
  

審査官引用 (1件)

• 特開昭62-235485