特許
J-GLOBAL ID：200903072708538457
洗浄/乾燥方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-251919
公開番号（公開出願番号）：特開平9-122610
出願日： 1991年04月19日
公開日（公表日）： 1997年05月13日
要約：
【要約】【課題】 フルオロカーボンを用いる方法以外の方法で、被洗浄物に影響を与えることなく、精密洗浄及び精密清浄後の乾燥を確実かつ効率的に行なえる洗浄/乾燥方法及び装置を開発することを目的とする。【解決手段】 溌水性を有する界面活性剤を含む水溶液に被洗浄物を浸漬し、被洗浄物を浸漬させた前記水溶液に超音波を印加して超音波により被洗浄物表面の塵埃を溌水性界面活性剤に置き換えて、被洗浄物の表面に溌水性界面活性剤を少なくとも1分子層付着させ、次いで被洗浄物を公知の乾燥方法で乾燥させるか、又はこの乾燥に先立って、水の沸点が 100°C未満となるように減圧した雰囲気において、 100°C未満の水蒸気によって被洗浄物を加熱した後、公知の乾燥方法で乾燥させることにより洗浄/乾燥方法及び装置を構成する。
請求項（抜粋）：
溌水性を有する界面活性剤を含む水溶液に被洗浄物を浸漬し、被洗浄物を浸漬させた前記、水溶液に超音波を印加して超音波により被洗浄物表面の塵埃を溌水性界面活性剤に置き換えて、被洗浄物の表面に溌水性界面活性剤を少なくとも1分子層付着させ、次いで該被洗浄物を乾燥させることを特徴とする洗浄/乾燥方法。
IPC (8件)：
B08B 3/10
, B08B 3/08
, B08B 3/12
, C11D 17/08
, C23G 1/24
, C23G 3/00
, H01L 21/304 351
, H05K 3/26
B08B 3/10 Z
, B08B 3/08 Z
, B08B 3/12 A
, C11D 17/08
, C23G 1/24
, C23G 3/00 Z
, H01L 21/304 351 Z
, H05K 3/26
