特許

J-GLOBAL ID：200903072709879550

表面にAl薄膜をコーティングしたFe-Ni合金薄板の製造方法

発明者： 小野 直人 ,  高橋 常利 ,  上田 弘孝 ,  是永 和典
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社 ,  株式会社三井ハイテック
代理人 (1件)： 萩原 康弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-122960
公開番号（公開出願番号）：特開平8-296039
出願日： 1995年04月25日
公開日（公表日）： 1996年11月12日
要約：

【要約】【目的】 表面にAl薄膜をコーティングしたFe-Ni合金薄板の製造方法を提供する。【構成】 厚さ0.05mm〜0.3mmのFe-Ni合金薄板を、イオンボンバードし、続いてマグネトロンスパッタリング法により、圧力1〜5mTorr、成膜速度0.2μm/min以下の条件で、前記薄板の表面に、膜厚0.8〜3μmのAl薄膜を形成することを特徴とする表面にAl薄膜をコーティングしたFe-Ni合金薄板の製造方法。【効果】 本発明によれば、表面平滑性、耐熱性に優れた、表面にAl薄膜をコーティングしたFe-Ni合金薄板が得られる。

請求項（抜粋）：

厚さ0.05mm〜0.3mmのFe-Ni合金薄板を、イオンボンバードし、続いてマグネトロンスパッタリング法により、圧力1〜5mTorr、成膜速度0.2μm/min以下の条件で、前記薄板の表面に、膜厚0.8〜3μmのAl薄膜を形成することを特徴とする表面にAl薄膜をコーティングしたFe-Ni合金薄板の製造方法。

IPC (5件)：

C23C 14/34 ,  C23C 14/16 ,  C23C 14/35 ,  H01L 23/48 ,  H01L 23/50

FI (5件)：

C23C 14/34 R ,  C23C 14/16 Z ,  C23C 14/35 Z ,  H01L 23/48 V ,  H01L 23/50 V