特許

J-GLOBAL ID：200903072715422790

水性レジスト組成物およびその用途

発明者： 石垣 聡 ,  木村 和弥 ,  松木 邦夫
出願人/特許権者： 昭和電工株式会社
代理人 (5件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  中村 和広 ,  西山 雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-033895
公開番号（公開出願番号）：特開2005-258426
出願日： 2005年02月10日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：

【課題】 ハジキや塗布基板端部での濡れ不良を低減し、良好な性状の塗膜を形成できる水性レジスト組成物を提供する。【解決手段】 (A)水またはアルカリ性水溶液に可溶な樹脂、(B)20°Cにおける1質量%水溶液の粘度が1,000mPa・s以上であるアルキルヒドロキシエチルセルロース、(C)水、および(D)水酸基含有有機溶剤を含む水性レジスト組成物であって、当該組成物中の(B)アルキルヒドロキシエチルセルロースの含有量が0.001〜1.0質量%である前記組成物である。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

(A)水またはアルカリ性水溶液に可溶な樹脂、(B)20°Cにおける1質量%水溶液の粘度が1,000mPa・s以上であるアルキルヒドロキシエチルセルロース、(C)水、および(D)水酸基含有有機溶剤を含む水性レジスト組成物であって、当該組成物中の(B)アルキルヒドロキシエチルセルロースの含有量が0.001〜1.0質量%である前記組成物。

IPC (3件)：

G03F7/032 ,  G03F7/004 ,  H05K3/06

FI (3件)：

G03F7/032 ,  G03F7/004 501 ,  H05K3/06 H

Fターム (24件)：

2H025AA18 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BJ02 ,  2H025BJ06 ,  2H025CA00 ,  2H025CB04 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB45 ,  2H025CC03 ,  2H025FA17 ,  5E339AB02 ,  5E339BC02 ,  5E339BE11 ,  5E339CC02 ,  5E339CD01 ,  5E339CE11 ,  5E339CE19 ,  5E339CF15 ,  5E339GG02

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 水系感光性樹脂組成物及びそれを用いたプリント回路板の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-172247   出願人：ダブリユー・アール・グレース・アンド・カンパニー-コーン
• 光重合性樹脂組成物及び積層体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-354035   出願人：旭化成工業株式会社
• 特開平01-227141号公報