特許

J-GLOBAL ID：200903072716093529

金属の微細構造の製造方法および指紋を検出するためのセンサー装置の製造における該方法の適用

発明者： マックス ツェルナー ,  イェルク ツァップフ ,  ペーター デンマー
出願人/特許権者： シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-568045
公開番号（公開出願番号）：特表2002-523789
出願日： 1999年08月24日
公開日（公表日）： 2002年07月30日
要約：

【要約】金属微細構造の製造方法および指紋を検知するためのセンサー装置の製造における該方法の適用剛体の補助担体(1)上に、フレキシブル材料からなる薄いベース層(3)を設け、その後ベース層(3)上に金属の微細構造(5)、殊に導体路構造をつくる。引き続き、ベース層(3)を補助担体(1)から、補助担体を貫通してベース層(1)に向けられるレーザー光線の作用により剥離する。

請求項（抜粋）：

次の工程:-剛体の補助担体(1)上にベース層(3)を設ける工程;-ベース層(3)上に金属の微細構造(5)をつくる工程;-補助担体(1)を貫通してベース層(3)に向けられるレーザー光線(LS)を作用させることによりベース層(3)を補助担体(1)からはく離する工程を有し、その際-補助担体(1)はベース層(3)をはく離するために使用されるレーザー光線(LS)に対し少なくとも十分に透過性の金属からなる、フレキシブルな有機材料からなる薄いベース層(3)上に金属の微細構造(5)を製造する方法。

IPC (4件)：

G01B 7/28 ,  A61B 5/117 ,  G01B 7/34 ,  G06T 1/00 400

FI (4件)：

G01B 7/28 Z ,  G01B 7/34 Z ,  G06T 1/00 400 G ,  A61B 5/10 322

Fターム (10件)：

2F063AA43 ,  2F063BA29 ,  2F063DA01 ,  2F063DA05 ,  2F063DD07 ,  2F063HA04 ,  2F063HA10 ,  4C038FF01 ,  4C038FG00 ,  5B047AA25