クライオパネルの温度調節装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-290798
公開番号（公開出願番号）：特開平11-125181
出願日： 1997年10月23日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：

【要約】【課題】再生処理時に放出された水素ガスが爆発しないようにクライオパネルの温度を調節する。【解決手段】ペルチェ素子21,22は、第1,第2クライオパネル15,16の再生処理時に加熱手段として用いられる。温度制御手段29は、再生処理時に、第2クライオパネル16の温度が25K〜80Kの所定温度になるように制御して水素を放出排気させる。そして、水素が完全に排気された後に第2クライオパネル16の温度を80K以上に制御して、酸素を放出排気させる。こうして、水素ガスと酸素ガスとを選択的に個別に排気して爆発を防止する。

請求項（抜粋）：

クライオポンプ(11)における2段膨張式冷凍機(12)の2段目の膨張シリンダ(14)に取り付けられた第2クライオパネル(16)の温度を調節するクライオパネルの温度調節装置であって、上記第2クライオパネル(16)に取り付けられて、再生処理時に上記第2クライオパネル(16)を加熱するペルチェ素子(22)を備えたことを特徴とするクライオパネルの温度調節装置。

IPC (3件)：

F04B 37/08 , F04B 37/16 , G05D 23/20

FI (3件)：

F04B 37/08 , F04B 37/16 H , G05D 23/20 A

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