特許
J-GLOBAL ID：200903072721534312
観察光学系
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 文男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-103608
公開番号（公開出願番号）：特開平5-107022
出願日： 1991年04月10日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：
【要約】【目的】 ビームエキスパンダーやコンプレッサーを用い、歪の少ない、横分解能の高い先鋭な干渉し間像を得る干渉計を、安価に得ようとする。【構成】 観察系における干渉縞を被験面位置に合焦する干渉計の観察光学系を、コリメーターと焦点位置を共用し、干渉縞の被験面からの0次光をコリメートする投影レンズと、その光束を光像検出器上に投影する結像レンズからなり、結像レンズと光像検出器を一体として光軸方向に前後させ、投影レンズとの距離を変えるように構成することにより一次以降の回折光を0次光位置に結像させる。
請求項（抜粋）：
観察系における干渉縞を被験面位置に合焦する光学系において、コリメーターと焦点位置を共用し、干渉縞の被験面からの0次光をコリメートする投影レンズと、その光束を光像検出器上に投影する結像レンズからなり、結像レンズと光像検出器を一体として光軸方向に前後させ、投影レンズとの距離を変えることにより一次以降の回折光を0次光位置に結像させる様にした合焦光学系を有することを特徴とする観察光学系
IPC (2件)：
前のページに戻る
