特許
J-GLOBAL ID：200903072728973206
レーザ走査顕微鏡のレーザ照射装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 茂信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-290465
公開番号（公開出願番号）：特開平7-139931
出願日： 1993年11月19日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：
【要約】【目的】 試料に照射するレーザ光の光量を試料面上の走査範囲内の全ての位置で一様とするレーザ走査顕微鏡のレーザ照射装置を提供することである。【構成】 レーザ発振器1と、そのレーザ光量を調整する光量調整器2と、レーザビームを偏向するレーザビーム偏向部3と、レーザビームを分割するビームスプリッタ4と、走査レーザビームをスライドグラス7上の試料8上に集光照射する、瞳5を有する対物レンズ6と、ビームスプリッタ4で分割された光を通過させる開口9と、開口9を通過した光を受ける光検出手段10と、光検出手段10からの電気信号が入力される制御部11とを備える。【作用】 光検出手段10に入射する光量がレーザビームの偏向走査中も一定となるように、制御部11により光量調整器2のレーザビームの透過率が調整される。
請求項（抜粋）：
光源であるレーザ発振器と、このレーザ発振器からのレーザを走査するレーザビーム偏向部と、走査レーザビームを試料に集光照射する対物レンズとを備えたレーザ走査顕微鏡のレーザ照射装置において、前記対物レンズに入射するレーザビームの一部を取り出す光分割手段と、この光分割手段によって取り出されたレーザビームの強度をモニタするための光検出手段と、この光検出手段によるモニタ結果に基づいて前記対物レンズに入射するレーザビームの強度を調整するレーザ光量調整手段とを備えることを特徴とするレーザ走査顕微鏡のレーザ照射装置。
IPC (2件)：
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