特許

J-GLOBAL ID：200903072743787702

磁気記録媒体の製造方法

発明者： 東間 清和 ,  吉本 和也 ,  杉田 龍二 ,  石田 達朗
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 宮井 暎夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-156908
公開番号（公開出願番号）：特開平8-030970
出願日： 1994年07月08日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：

【要約】【目的】 優れた記録再生特性を得られるとともに、高い生産性の得られる磁気記録媒体の製造方法を提供する。【構成】 走行する基板100上に真空蒸着法によってコバルトと酸素またはコバルトとニッケルと酸素を主成分とする磁性層を形成する際、コバルトまたはコバルト・ニッケル合金を蒸発物質120とする蒸発源130に基板100の走行方向の上流側および下流側に蒸発部180,181を設け、蒸発部180,181からの蒸発原子の基板100への入射範囲を遮蔽板140,141によって規定し、上流側蒸発部180からの蒸発原子の入射範囲の初期入射部への入射角より下流側蒸発部181からの蒸発原子の入射範囲の終期入射部への入射角の方を小さくし、入射範囲の初期入射部および終期入射部に酸素導入ノズル151,150から酸素を導入する。

請求項（抜粋）：

走行する基板上に真空蒸着法によってコバルトと酸素またはコバルトとニッケルと酸素を主成分とする磁性層を形成する際、コバルトまたはコバルト・ニッケル合金の蒸発源に前記基板の走行方向の上流側および下流側に蒸発部を設け、前記上流側および下流側蒸発部からの蒸発原子の前記基板への入射範囲を上流側および下流側遮蔽板によって規定し、前記上流側蒸発部からの蒸発原子の前記入射範囲の初期入射部への入射角より前記下流側蒸発部からの蒸発原子の前記入射範囲の終期入射部への入射角の方を小さくし、前記入射範囲の初期入射部および終期入射部に酸素を導入することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

IPC (3件)：

G11B 5/85 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/56

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開昭58-041442
  
• 特開昭60-157728
  
• 特開昭63-193328
  
• 特開平1-258226