気圧調整用孔保護フィルター付きペリクル

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-012037
公開番号（公開出願番号）：特開平10-198021
出願日： 1997年01月07日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：

【要約】【解決手段】ペリクルフレーム(1)の上端面にペリクル膜(2)が張設され、かつ上記ペリクルフレーム(1)の側部に気圧調整用通気孔(4)が設けられていると共に、このペリクルフレーム(1)の外側面に上記通気孔(4)を覆ってパーティクル侵入防止用のフィルター(5)を設けたペリクルにおいて、上記フィルター(5)が外側フィルター部(5b)と内側フィルター部(5a)とを有し、外側フィルター部(5b)より内側フィルター部(5a)が大きい孔径を有していることを特徴とする気圧調整用孔保護フィルター付きペリクル。【効果】本発明のペリクルによれば、気圧調整用の通気孔付近のフィルター部孔径を大きくすることで、その外側の小孔径フィルター部の有効面積を高めることができ、このため異物捕集効率を低下させることなく通気能力を上げることができるものであり、従って気圧変動のある環境下、例えば露光原版(レチクル)にペリクルを貼り付けた状態で空輸するような場合において、確実にかつ迅速にフレーム内外の気圧調整がなされる。

請求項（抜粋）：

ペリクルフレームの上端面にペリクル膜が張設され、かつ上記ペリクルフレームの側部に気圧調整用通気孔が設けられていると共に、このペリクルフレームの外側面に上記通気孔を覆ってパーティクル侵入防止用のフィルターを設けたペリクルにおいて、上記フィルターが外側フィルター部と内側フィルター部とを有し、外側フィルター部より内側フィルター部が大きい孔径を有していることを特徴とする気圧調整用孔保護フィルター付きペリクル。

IPC (3件)：

G03F 1/14 , B08B 17/00 , H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 1/14 J , B08B 17/00 , H01L 21/30 503 E

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