特許
J-GLOBAL ID:200903072766244870
カラーフィルタの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-005623
公開番号(公開出願番号):特開平9-197113
出願日: 1996年01月17日
公開日(公表日): 1997年07月31日
要約:
【要約】【課題】耐熱性と感度を両立させ、順テーパー形状のパターンを形成するためのプロセス条件の制御(加熱温度、加熱時間、加熱雰囲気など)が比較的容易に行え、ほぼ均一なテーパー角度をもつ順テーパー形状のパターンが形成できるカラーフィルタの製造方法を提供すること。【解決手段】酸により硬化する樹脂と架橋剤と光酸発生剤と顔料からなる感光性着色組成物を用いたカラーフィルタの製造方法において、透明基板上に前記感光性着色組成物を全面に塗布し乾燥した後、アミン化合物を乾燥後の前記感光性着色組成物中の表面から浸透させ感光性着色組成物層中でアミン化合物の濃度勾配を形成させ、パターン露光し加熱し現像して着色パターンを形成し、この一連の着色パターン形成の工程を繰り返して複数色の着色パターンを形成することを特徴とする。
請求項(抜粋):
酸により硬化する樹脂と架橋剤と光酸発生剤と顔料からなる感光性着色組成物を用いたカラーフィルタの製造方法において、透明基板上に前記感光性着色組成物を全面に塗布し乾燥した後、アミン化合物を乾燥後の前記感光性着色組成物中の表面から浸透させ感光性着色組成物層中でアミン化合物の濃度勾配を形成させ、パターン露光し加熱し現像して着色パターンを形成し、この一連の着色パターン形成の工程を繰り返して複数色の着色パターンを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
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