特許

J-GLOBAL ID：200903072768376448

薄膜熱電物質の熱的及び電気的特性を測定する方法及び装置

発明者： ウタ・シャイアマリンド・ゴシャール
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
代理人 (1件)： 坂口 博 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-241316
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131211
出願日： 2001年08月08日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：

【要約】【課題】 熱電物質の熱寄生損失及び構造的安定性に関わる従来方法の問題を克服し、熱電物質の熱的及び電気的特性の測定を行うことのできる装置及び方法を提供すること。【解決手段】 走査顕微鏡を用いて、微視的な熱電物質サンプルを測定及び特性解析する方法及び装置を提供する。本方法は、走査熱プローブを使用する熱的及び電気的同時測定を基礎とし、走査熱顕微鏡(SThM)の適用性を熱電物質の特性解析へと拡張する。プローブが2つの熱電対を用いて、プローブのコーン・チップの先端及び底部の電圧を測定する。これらの電圧、及びサンプル物質にわたって測定された電圧から、サンプル物質のゼーベック係数、熱伝導率及び抵抗が正確に決定される。

請求項（抜粋）：

物質の熱電特性を測定する方法であって、前記物質にわたって温度差を生成するステップと、プローブにより、前記物質にかかる電圧を測定するステップと、前記プローブの先端と前記プローブの底部との間の温度差を測定するステップと、測定された前記温度差及び前記電圧にもとづき、少なくとも1つの熱電特性を計算するステップとを含む方法。

IPC (3件)：

G01N 13/10 ,  G01N 13/16 ,  H01L 35/28

FI (3件)：

G01N 13/10 H ,  G01N 13/16 A ,  H01L 35/28 Z