特許
J-GLOBAL ID：200903072770341996
ガスシールド装置及び熱処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-238016
公開番号（公開出願番号）：特開平5-070299
出願日： 1991年09月18日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：
【要約】【目的】 苛酷な高温状態であっても優れた耐久性を有し、接合封止部分におけるガス漏れ等の事故を生じる事なく、長期にわたり安定且つ封止効果の高いガスシールド装置を提供するものである。【構成】 封止面に複数の接合面を設け、この複数の接合面の中間部に中間溝を設け、前記封止面から漏洩するガスを、前記中間溝から排気もしくは、前記中間溝にガスを圧送してシールドすることを特徴とするガスシールド装置と、反応管にガス導入配管またはガス排気配管等が気密に設けられた熱処理装置において、前記ガス導入配管または前記ガス排気配管等の外部連通配管との接続封止面に、複数の接合面を設け、この複数の接合面の中間部に中間溝を設け、前記封止面から漏洩するガスを、前記中間溝から排気もしくは、前記中間溝にガスを圧送してシールドすることを特徴とする熱処理装置である。
請求項（抜粋）：
封止面に、複数の接合面を設け、この複数の接合面の中間部に中間溝を設け、前記封止面から漏洩するガスを、前記中間溝から排気もしくは、前記中間溝にガスを圧送してシールドすることを特徴とするガスシールド装置。
IPC (5件)：
C30B 33/02
, C23C 16/44
, H01L 21/205
, H01L 21/22
, H01L 21/31
