特許

J-GLOBAL ID：200903072783765019

圧力センサとその製造方法

発明者： 畦間 忠満 ,  丸谷 浩隆
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-095634
公開番号（公開出願番号）：特開平11-295173
出願日： 1998年04月08日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：

【要約】【課題】 従来よりも製造時間を短縮することができると共に、高精度にケースの歪みを検出することができる圧力センサを提供する。【解決手段】 本発明の圧力センサ1は、蓋体13の一部に薄肉部13cを形成し、この薄肉部13c上に、絶縁膜18を印刷形成し、この絶縁膜上に抵抗素子から成る圧力検出素子を印刷形成し、印刷形成した接続電極20で圧力検出素子19の一端と、蓋体13の外部表面13dの一部とを接続した。

請求項（抜粋）：

内部が気密に遮蔽された導電性のケースと、このケースの外部表面の一部に形成した絶縁膜と、この絶縁膜上に設けた圧力検出素子とを備え、前記ケースの外部表面の一部に接続電極を形成し、この接続電極を前記圧力検出素子まで延長して形成し、この接続電極で前記圧力検出素子の一端と前記ケースの外部表面の一部とを接続したことを特徴とする圧力センサ。

IPC (3件)：

G01L 9/04 101 ,  G05D 16/20 ,  H01M 10/48 301

FI (3件)：

G01L 9/04 101 ,  G05D 16/20 ,  H01M 10/48 301