特許
J-GLOBAL ID：200903072787013186

圧電振動子ユニットの製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、圧電振動子ユニット、及び、液体噴射ヘッド

発明者：
北原 強

北原 強 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 津久井 照保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-395261
公開番号（公開出願番号）：特開2001-277525
出願日： 2000年12月26日
公開日（公表日）： 2001年10月09日
要約：
【要約】【課題】 個々の圧電振動子の変位量を揃えて、液体噴射ヘッドにおける液体の吐出特性を揃える。【解決手段】 共通内部電極27と個別内部電極28とを圧電体29を挟んで交互に積層し、その表面に共通外部電極30及び個別外部電極31を設けて駆動振動子24を構成する。この駆動振動子24の自由端部24aには活性領域Lを設けて、自由端部24aを振動子の長手方向に伸縮可能に構成する。自由端部24aにおける最外層の圧電体29を外部電極と内部電極との電位差で作動可能とし、外部電極における活性領域Lの部分をトリミングによって有効長さxが可変されるトリミング部とする。
請求項（抜粋）：
圧電体とこの圧電体を挟んで配設された電極とを有する圧電振動子を複数備えた圧電振動子ユニットの製造方法において、基準電圧に対する圧電振動子の変位量をそれぞれの圧電振動子について測定する変位量測定工程と、該変位量測定工程での測定結果に基づいて個々の圧電振動子に対する処理条件を設定し、設定した処理条件に基づいて変位量調整処理を行って各圧電振動子の変位量を揃える変位量調整工程とを経ることを特徴とする圧電振動子ユニットの製造方法。
IPC (6件)：
B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/083 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22
FI (5件)：
B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/08 N ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/22 Z
Fターム (13件)：
2C057AF23 ,  2C057AF24 ,  2C057AF42 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG48 ,  2C057AP02 ,  2C057AP16 ,  2C057AP23 ,  2C057AP82 ,  2C057AP90 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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